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中国科学院深圳先进技术研究院的微纳加工测试平台包括了百级/千级/万级总计400平米的加工测试净化服务区及100平米的洁净间附属设施(中央空调、制氮机、空气压缩机、中央纯水机、中央冷却水、气瓶室等),其洁净等级已通过ISO国际认证。平台致力于微纳尺度的器件和材料加工及测试,拥有基本齐全的6 inch半自动的MEMS工艺线,和微流体芯片的全套加工、制作能力。具备先进的材料和器件加工、表征、测试和封装能力,包括紫外光刻、热压/紫外纳米压印、无掩膜激光直写、薄膜沉积、干法刻蚀、深硅刻蚀、超临界干燥、台阶仪/膜厚仪、晶圆切割机、材料万能试验机、封装球焊机等。


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