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千级微纳加工超净间

微纳中心建设了250平米的千级微纳加工超净间,其洁净等级已通过ISO国际认证。平台致力于微纳尺度的器件和材料加工及测试,拥有基本齐全的6inch半自动的MEMS工艺线,和微流体芯片的全套加工、制作能力。具备先进的材料和器件加工、表征、测试和封装能力,包括紫外光刻、热压/紫外纳米压印、无掩膜激光直写、薄膜沉积、干法刻蚀、深硅刻蚀、超临界干燥、台阶仪/膜厚仪、晶圆切割机、材料万能试验机、封装球焊机等。


万级微纳加工超净间

微纳中心原有200平米的万级微纳加工超净间,其中包括一间千级光刻间,可满足基本的微纳器件加工和微流控芯片制作的需求。大型仪器设备包括:紫外光刻机、纳米压印机、高精度旋涂仪、台阶仪、等离子清洗机等。

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