微纳加工

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超临界干燥仪

Toasimis Autosamdri-815B

本超临界干燥仪由美国tousimis厂家研发生产,产品得到了诸如美国UCLA、伯克利、哈佛大学、麻省理工等全世界各著名高校和研究院的认可。其原理是使用液体的CO2对胶体中的溶剂进行完全置换,置换后使系统加热加压到CO2的超临界点(31°C,74 Bar)进行干燥过程,最后进行等温泄压,得到干燥的样品。


工艺气体: 二氧化碳

工作温度: -30 ~+ 60

工作压力: 0~2000 psi

样品尺寸:可同时干燥54英寸晶圆

1.微纳材料的干燥,如MEMS器件、传感器、生物传感器器件等干燥 ;

2.生物大分子:细胞、蛋白质等干燥 ;

3.动植物组织:如花粉、昆虫组织 ;

4.化学物理材料:MOF、介孔纳米材料、碳材料、纳米管等。

一定不能在样品腔倒入任何酸性溶剂,也不要让样品腔暴露在任何酸性溶剂环境。

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