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光学膜厚测量仪

Filmetrics F20-UV

Filmetrics 膜厚测试仪通过分析薄膜的反射光谱来测量薄膜的厚度,通过非可见光的测量,可以测量薄至1nm或厚至13mm的薄膜。测量结果可在几秒钟显示:薄膜厚度、颜色、折射率甚至是表面粗糙度。

1.有五种不同波长选择(波长范围从紫外220nm至近红外1700nm)

2.最大样品薄膜厚度的测量范围是:3nm ~ 25um

3.精度高于0.1nm


1.半导体行业: 光刻胶、氧化物、氮化物; 

2.LCD 行业: 液晶盒间隙厚度、 Polyimides; 

3.光电镀膜应用: 硬化膜、抗反射膜、滤波片。

1.光源有寿命,不用时请关闭 

2.光纤易损,不要弯折,不要频繁插拔 

3.精密仪器,尽量不要震动 

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