微纳加工

联系我们

联系地址:深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号
电话:0755-86392582

您当前的位置:首页>>微纳加工>>仪器设备 仪器设备

紫外光刻机

紫外光刻机 URE-2000/35

紫外光刻机URE-2000/35集新颖性、可靠性、实用性为一体。采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙,采用19英寸大屏幕液晶显示,对准过程方便直观。整机具有性能可靠、外观精美、操作方便、自动化程度高等特点。通过技术创新,既满足了用户的要求,又提高了产品的附加值。


copyright 2013 中国科学院深圳先进技术研究院 版权所有 粤ICP备09184136号-3
地址:深圳市南山区西丽深圳大学城学苑大道1068号 邮编:518055 邮件:info@siat.ac.cn       技术支持:深圳网站建设 【佰达】